KMLabs公司基于空心波导技术专利研发出的XUUS技术作为一种新型的极紫外超快光源产生技术，使输出的红外信号转化为极紫外光或软X射线，为X射线研究开辟了一种新途径。这是世界上唯一商业化的高次谐波产生系统。
XUUS4为第四代产品，可根据用户需要在13 - 47 nm之间选择峰值波长，可用于极紫外光刻、测量、无透镜成像、高空间/时间分辨率泵浦透镜实验等，下图为台式极紫外光源在用户可选波段13-17 nm间的应用展示，可用于极紫外成像/光刻计量，光电子光谱学，分子和磁动力学，阿秒脉冲产生等。
特点1.提供完整的EUV脉冲实验解决方案：
•VFM（Vacuum Flipper mirror Module）优化输入的耦合或结合的EUV/IR光束
•VBM（Vacuum Beam dumper Module）降低残余IR光束强度
•VTM、GVM、VCM、Filter Wheel等模块
特点2.极限稳定性：EUV脉冲实验解决方案：
•Cartridge capillary tube封装确保性能和稳定性，且易于更换
•在惰性气体中利用高次谐波（HHG）参数及紫外光（EUV）
•4轴控制——主动输入光束稳定
•耦合摄像头监控capillary tube
•温度稳定的实验电路板
•工业化的元件设计，经久耐用
•完全软件控制
•选择惰性气体时的相位匹配转换
特点3.经Wyvern系列放大器泵浦可能的布局：
•图示典型光路可根据客户应用和需求定制
•放大器到XUUS4的传输距离为1-3m
•KMLabs EUV 专家可根据客户的实验室及光学平台设计输出布局方案
主要应用：
•远紫外成像/光刻计量 •相变/晶格振动 •医学X射线成像 •光电子光谱学
•微/纳米电子学 •阿秒脉冲产生器 •分子和磁动力学 •相干衍射成像
•原子相互作用 •e-ORBIT in H ATOM
