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EUV/SXR激光器

产品相关说明:

关于KMLabs公司与产品应用介绍


     KMLabs公司基于空心波导技术专利研发出的XUUS技术作为一种新型的极紫外超快光源产生技术,使输出的红外信号转化为极紫外光或软X射线,为X射线研究开辟了一种新途径。这是世界上唯一商业化的高次谐波产生系统。

  XUUS4为第四代产品,可根据用户需要在13 - 47 nm之间选择峰值波长,可用于极紫外光刻、测量、无透镜成像、高空间/时间分辨率泵浦透镜实验等,下图为台式极紫外光源在用户可选波段13-17 nm间的应用展示,可用于极紫外成像/光刻计量,光电子光谱学,分子和磁动力学,阿秒脉冲产生等。

XUUS  Brochure 下载

 

特点1.提供完整的EUV脉冲实验解决方案:

•VFMVacuum Flipper mirror Module)优化输入的耦合或结合的EUV/IR光束
•VBM
Vacuum Beam dumper Module)降低残余IR光束强度
•VTM
GVMVCMFilter Wheel等模块

特点2.极限稳定性:EUV脉冲实验解决方案:

•Cartridge capillary tube封装确保性能和稳定性,且易于更换
在惰性气体中利用高次谐波(HHG)参数及紫外光(EUV
•4
轴控制——主动输入光束稳定
耦合摄像头监控capillary tube
温度稳定的实验电路板
工业化的元件设计,经久耐用
完全软件控制
选择惰性气体时的相位匹配转换

特点3.Wyvern系列放大器泵浦可能的布局:

图示典型光路可根据客户应用和需求定制
放大器到XUUS4的传输距离为1-3m
•KMLabs EUV
专家可根据客户的实验室及光学平台设计输出布局方案

主要应用:
远紫外成像/光刻计量          •相变/晶格振动           •医学X射线成像     •光电子光谱学  
/纳米电子学                •阿秒脉冲产生器          •分子和磁动力学    •相干衍射成像
原子相互作用                 •e-ORBIT in H ATOM

 


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